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Source plasma LITMAS

Advanced Energy


Modèle : Litmas® RPS


Chambre SiO2 ou Al2O3

DESCRIPTION

Litmas est une source de plasma tout-en-un combinant l’alimentation, la boite d’accord LitmasMatch™ et la chambre à plasma dans un seul châssis compact.
Solution d’abatement des gaz au point d’utilisation à faible encombrement.
Destruction efficace et hautement fiable avec une consomation minimale des utilités.
Coût d’utilisation inférieur à celui des solutions concurrentes

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