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PS-8 : Nouvelle génération de détection de gaz dans les usines de semi-conducteurs

24 Mar 2026 | Produits

Dans les environnements industriels sensibles, la détection des gaz ne tolère aucune approximation. Le PS-8, nouvelle génération de détecteur développé par New Cosmos Electric, est une solution de détection multi-gaz conçue spécifiquement pour les exigences élevées de l’industrie des semi-conducteurs.

En tant que distributeur spécialisé, OMICRON Technologies vous accompagne dans l’intégration, le dimensionnement et la mise en service de cette solution.

PS-8 — unité principale New Cosmos Electric
Une solution pour les environnements critiques

Le PS-8 est un détecteur de gaz par échantillonnage (≈ 0,5 L/min), conçu pour la surveillance continue des installations en intérieur. Il cible en priorité les différents environnements à risques suivants :

  • Salles blanches et zones de production de semi-conducteurs (CVD, ALD, etc)
  • Laboratoires et zones techniques
  • Armoires et locaux de stockage gaz

Les capteurs sont pré-étalonnées en usine et livrés prêts à l’emploi — sans intervention de mise en service complexe sur site.

Gaz cible personnalisable
Le PS-8 s’adapte à vos spécifications : chaque capteur est configurée pour le gaz et la plage de mesure de votre process. Plus de 20 gaz disponibles en standard, dont SiH₄, PH₃, NF₃, HF, HCl, NH₃, Cl₂, H₂, O₂ et CO.

Pyrolyseur intégré — une première
Les capteurs NF₃ et COS intègrent un pyrolyseur directement dans le capteur — une première dans l’industrie. Le pyrolyseur externe encombrant est supprimé : gain de place, réduction des coûts, simplification du câblage.

Grand écran LCD, lecture immédiate
L’affichage monochrome plein point indique en temps réel la concentration, le débit, le type de gaz et l’historique des alarmes (jusqu’à 50 minutes avant incident). Basculement entre affichage 1 gaz et 4 gaz simultanés.

Gaz détectables

Le PS-8 couvre l’ensemble des gaz de process utilisés en fabrication de semi-conducteurs, par détection électrochimique, semiconducteur à fil chaud ou cellule galvanique.

SiH₄ — Silane
PH₃ — Phosphine
B₂H₆ — Diborane
AsH₃ — Arsine
H₂Se — Séléniure d’hydrogène
Si₂H₆ — Disilane
SiH₂Cl₂ — Dichlorosilane
GeH₄ — Germane
NH₃ — Ammoniac
HF — Fluorure d’hydrogène
HCl — Chlorure d’hydrogène
HBr — Bromure d’hydrogène
Cl₂ — Dichlore
ClF₃ — Trifluorure de chlore
F₂ — Fluor
H₂S — Sulfure d’hydrogène
O₃ — Ozone
CO — Monoxyde de carbone
H₂ — Hydrogène
O₂ — Oxygène
NF₃ — avec pyrolyseur intégré
COS — avec pyrolyseur intégré
CCl₄ — avec pyrolyseur intégré

Les tags en rouge indiquent les gaz avec pyrolyseur intégré (première mondiale). D’autres gaz sont disponibles sur demande.

PS-8 — architecture modulaire multi-capteurs
Surveillance multi-gaz et multi-points

Une unité principale peut afficher les informations de jusqu’à 12 capteurs, répartis sur plusieurs unités secondaires. L’architecture est modulaire et évolutive :

  • Unité principale (PS-8N / PS-8M) — affichage, communication, jusqu’à 3 sous-unités rattachées
  • Sous-unité (PS-8S) — max. 3 par unité principale, alimentée par l’unité principale
  • Unités d’extension — jusqu’à 4 par unité principale (sorties AO, DO, AI, Modbus-RTU)
Modules d’extension disponibles
  • Module AO — sortie analogique 4–20 mA
  • Module DO — sortie contact
  • Module AI — entrée analogique
  • Module MR — Modbus-RTU (à venir)

Spécifications techniques
Valeur / Description
Modèles PS-8N (RS-485) · PS-8M (PoE + Ethernet) · PS-8S (sous-unité)
Principe de prélèvement Aspiration par pompe — débit ≈ 0,5 L/min (régulation automatique ±20 %)
Principes de détection Électrochimique · Semiconducteur à fil chaud · Cellule galvanique
Affichage LCD monochrome plein point — concentration (5 chiffres), débit, état alarmes, historique 50 min
Alarmes 2 seuils (Alarm 1 / Alarm 2) — LED rouge clignotante + affichage LCD + contact sec
Précision alarme Gaz combustibles : ±25 % · Gaz toxiques : ±30 % · Déficit O₂ : ±1 vol%
Sorties analogiques 4–20 mA (précision ±0,5 % FS) — extension AO pour sous-unités
Communication PS-8M : Ethernet Modbus/TCP (100 m max) · PS-8N : RS-485 Modbus-RTU · PoE IEEE 802.3at
Alimentation DC 24 V ±10 % · ou PoE (PS-8M uniquement) · PS-8S : alimentée par l’unité principale
Consommation 3,5 W typ. (5,2 W max) capteur électrochimique · 4,0 W typ. (5,9 W max) avec pyrolyseur
Température / Humidité 0 °C à 40 °C · 30 à 85 % HR (sans condensation)
Dimensions 70 × 124 × 172 mm (hors protubérances)
Masse ≈ 850 g unité principale · ≈ 770 g sous-unité (sans capteur)
Montage Fixation murale ou en râtelier — même pas de fixation que le PS-7 (rétrocompatible)
Remplacement capteur Accès frontal sans démontage ni outil spécifique

Le PS-8 en vidéo

Découvrez le fonctionnement et les avantages du PS-8 Series dans cette présentation officielle New Cosmos Electric.

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