Régulateur de débit massique
Modèle : Série MCV
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,5 SCCM à 0...20 SLM
- Pression d'entrée max :
- 160 psia (11 Bar abs)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Raccords 1/4" VCR
- Vanne d'arrêt intégrée
DESCRIPTION
- Mettez à jour vos équipements de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE à la pointe de la technologie.
- Le MCV associe le MCE à une vanne d’arrêt pneumatique intégrée pour les applications de vide iafin déviter toute contamination pendant les conditions de consignes à zéro.
- Cette série possède des raccords VCR ¼ » soudés et l’encombrement est aux normes SEMI.