Régulateur de débit massique
Modèle : Série MCQ
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,025 SCCM à 0...5000 SLM
- Pression d'entrée max :
- 320 psia (22 Bar abs)
- Temps de réponse :
- < 10ms
DESCRIPTION
- Avec un temps de réponse inférieur à 10 ms et un temps de contrôle de 100 ms, il est l’un des MFC les plus rapides du marché.
- Cela permet un meilleur contrôle et stabilité du débit, mêmes dans des conditions difficiles.
- Version haute pression.