Régulateur de débit massique Aera®
Modèle : Série HC102
- Temps de réponse ultra-rapide (0.7 sec)
- 10 millions de cycles
- Construction robuste pour les procédés ALD
- Communications :
- DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
- Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...50SLM à 0...200SLM
- Vanne piezoélectrique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
DESCRIPTION
- La série HC102 est le modèle MFC numérique pour très haut débit (Multi-Gaz Multi-Gamme).
- Il conserve les caractéristiques de la gamme HC100 en terme de précision et de plage de contrôle du débit.