Régulateur de débit massique Aera®
Modèle : Série HG200
- Temps de réponse ultra-rapide (0.3 sec)
- Fonctionnement "pressure insensitive" (compensé en pression)
- Fonction Auto-diagnostic et apprentissage des réponses
- Construction robuste pour les procédés ALD
- Communications :
- DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
- Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...50SLM
- Vanne piezoélectrique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
DESCRIPTION
- La série HG200 a des performances essentielles améliorées comme le temps de réponse, la robustesse pour les procédés ALD, la fonction de vanne d’arrêt, la plage de contrôle, la précision du débit.
- Elle satisfait à un excellent temps de réponse, 0.3s (de Multi-1 à Multi-5) grâce à l’utilisation d’un algorithme amélioré.
- La fonction « pression insensitive » permet un contrôle stable du débit en cas de fluctuation de la pression en amont ou en aval du MFC.